A. Rutscher : rechercher sur Z-Library

Année:

1988

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english

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english, 1988

Basic Mechanisms in Plasma Etching

H. Deutsch, H. Kersten, A. Rutscher

Journal:

Sigismund Pfau, Alfred Rutscher

Année:

1989

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english

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english, 1989

Über den Zusammenhang der stehenden und laufenden Schichten in der positiven Säule von Glimmentladungen

Journal:

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1960

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german

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german, 1960

Die Transportkoeffizienten der Elektronen in den Edelgasen bei mittleren reduzierten elektrischen Feldstärken (Teil I) (E/p0 ≈ 0.1 – 10V/cm Torr). Beweglichkeit und Diffusionskoeffizient der Elektronen

Journal:

Année:

1969

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german

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german, 1969

Zum Ähnlichkeitsgesetz der Ionisationswellen

Journal:

Année:

1968

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german

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german, 1968

Die Transportkoeffizienten der Elektronen in den Edelgasen bei mittleren reduzierten elektrischen Feldstärken (Teil II) (E/p0 ≈ 0,1…10V/cm Torr) Thermodiffusions- und Energietransportkoeffizienten der Elektronen

T. Růžička, A. Rutscher, S. Pfau

Journal:

Dr. S. Pfau, Dr. A. Rutscher

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1970

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german

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german, 1970

Wirkungsquerschnitte für die Penning-Ionisation von H2, N2, Ar, Kr, Xe und Hg durch metastabile Neonatome

Journal:

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1970

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german

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german, 1970

Über den Einfluß der Form der Primärstörung auf die Ausbildung der Schichtungswelle in Niederdruckgasentladungen

A. Rutscher, K. Wojaczek

Journal:

Karl Wojaczek, Alfred Rutscher

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1962

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german

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german, 1962

Betriebsbedingungen für schwingungsfreie Niederdruck-Gasentladungen. I. Allgemeine Übersicht

Journal:

Alfred Rutscher, Karl Wojaczek

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1963

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german

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german, 1963

Betriebsbedingungen für schwingungsfreie Niederdruck- Gasentladungen. II. Existenzbereiche der positiven Säule ohne laufende Schichten

Journal:

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1964

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german

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german, 1964

Schichterscheinungen der Niederdruckentladung in Neon—Wasserstoffgemischen

Journal:

Année:

1964

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german

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german, 1964

Zur Diffusionstheorie der homogenen positiven Säule mit einer Druyvesteyn-Verteilung der Elektronenenergie

Alfred Rutscher

Journal:

Sigismund Pfau, Alfred Rutscher

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1966

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german

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german, 1966

Zur Energieverteilungsfunktion der Elektronen in der positiven Säule einer stromschwachen Neonentladung

Journal:

Année:

1966

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german

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german, 1966

Zum Mechanismus der positiven Niederdrucksäule im Grenzfall kleiner Elektronendichten. I. Allgemeine Übersicht

Alfred Rutscher

Journal:

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1967

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german

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german, 1967

Zum Mechanismus der positiven Niederdrucksäule im Grenzfall kleiner Elektronendichten. III. Die Diffusionstheorie der homogenen positiven Säule

A. Rutscher, S. Pfau

Journal:

Année:

1967

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german

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german, 1967

Zur Diffusionstheorie der positiven Säule stromschwacher Edelgasentladungen bei mittleren Drücken

Journal:

Année:

1968

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german

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german, 1968

Experimentelle Ergebnisse der Untersuchung positiver Säulen in Edelgas-Mitteldruckentladungen

Journal:

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1968

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german

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german, 1968

Die Erzeugung kontinuierlicher Strahlung im Plasma der positiven Edelgas-Säule durch Bremsung der Elektronen an Gasatomen

A. Rutscher, S. Pfau

Journal:

Année:

1968

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german

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german, 1968

Die Impedanz der positiven Niederdrucksäule bei kleinen Entladungsstromstärken

H. Deutsch, A. Rutscher

Journal:

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1968

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german

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german, 1968

Das Ähnlichkeitsgesetz für quasineutrale, anisotherme Entladungssäulen

S. Pfau, A. Rutscher, K. Wojaczek

Journal:

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1969

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german

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german, 1969

Die Impedanz der positiven Säule stromschwacher Edelgasentladungen

S. Pfau, A. Rutscher, H. Deutsch

Journal:

Année:

1970

Langue:

german

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german, 1970

Radiale Änderungen der Energieverteilungsfunktion der Elektronen im Plasma der positiven Säule elektrischer Entladungen

D. Herrmann, A. Rutscher, S. Pfau

Journal:

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1971

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german

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german, 1971

Nichtlineare Effekte im dynamischen Verhalten der positiven Säule stromschwacher Niederdruckentladungen

H. Deutsch, A. Rutscher, H. Ziemann

Journal:

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1972

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german

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german, 1972

Der Einfluß der dissoziativen Rekombination auf das Abklingen der Linienstrahlung in einer gepulsten Mitteldruckentladung

Journal:

Année:

1972

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german

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german, 1972

Zur Emission kontinuierlicher Strahlung aus der positiven Säule einer stromschwachen Quecksilberdampfentladung

A. Atajew, A. Rutscher, R. Winkler

Journal:

Année:

1972

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german

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german, 1972

Schraubenwellen der kontrahierten positiven Säule in Edelgas-Mitteldruckentladungen

A. Rutscher, T. Röžička

Journal:

Année:

1973

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german

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german, 1973

Die spektrale Verteilung der Kontinuumstrahlung diffuser und kontrahierter positiver Säulen der Edelgasmitteldruckentladungen im sichtbaren und nahen UV-Bereich

S. Pfau, A. Rutscher, R. Winkler

Journal:

Année:

1976

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german

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german, 1976

Die Bestimmung des elektrischen Ersatzschaltbildes der positiven Entladungssäule und seine Beziehung zu den Elementarprozessen

A. Rutscher, H. Deutsch

Journal:

Année:

1977

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1977

Diffusionstheoretische Beschreibung der Dissoziation und des Ionenhaushaltes im schwachionisierten Säulenplasma der Wasserstoffentladung. I. Reaktionsmechanismen — Bilanzgleichungssystem und Lösungsmethode

Journal:

Année:

1980

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1980

Diffusionstheoretische Beschreibung der Dissoziation und des Ionenhaushaltes im schwachionisierten Säulenplasma der Wasserstoffentladung. II. Makroskopische Kenngrößen der Elektronen im H/H2-Mischplasma

Journal:

Année:

1980

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1980

Diffusionstheoretische Beschreibung der Dissoziation und des Ionenhaushaltes im schwachionisierten Säulenplasma der Wasserstoffentladung. IV. Grenzfälle der experimentell realisierbaren Druckbilanz — Variation der Gastemperatur — Ähnlichkeitsdarstellung der Plasmaparameter

Journal:

Année:

1980

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1980

Diffusionstheoretische Beschreibung der Dissoziation und des Ionenhaushaltes im schwachionisierten Säulenplasma der Wasserstoffentladung. III. Kenngrößen der positiven Säule bei verschiedenen Drücken (0,3 … 10 Torr) und Strömen (10−4 … 1 A)

Journal:

A. Rutscher, H. E. Wagner

Année:

1980

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1980

The Model of Macroscopic Kinetics in Non-Equilibrium Plasma Chemical Reactions I. General Considerations and Basic Relations

Journal:

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1985

Langue:

english

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english, 1985

Physics of Highly Charged Ions. R. K. Janev, L. P. Presnyakov, V. P. Shevelko. Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1985 (Springer Series in Electrophysics, Vol. 13)

A. Rutscher

Journal:

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1986

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english

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english, 1986

Low Temperature Dry Etching of Graphite Anodes in Hydrogen Glow Discharges

J. Nawra, S. Pfau, A. Resztak, Th. Richter, A. Rutscher

Journal:

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1991

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english

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english, 1991

The Temperature Dependence of the Etch Rate of Si Measured by Ellipsometry

M. Haverlag, H. Kersten, G. M. W. Kroesen, F. J. de Hoog, A. Rutscher

Journal:

Année:

1991

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english

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english, 1991

Reaction Kinetics and Chemical Quasi-Equilibria of the Ozone Synthesis in Oxygen DC Discharges

H. Jacobs, F. Miethke, A. Rutscher, H.-E. Wagner

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